流量控制器的測量和控制不因溫度或壓力的動搖而失準測量控制的自動化、準確地定量控制流量 適用規(guī)模寬、準確度高、重復(fù)性好 體積小巧、安裝方便、操作簡略、技術(shù)先進、符合發(fā)展潮流

1.流量的測量和控制不因溫度或壓力的動搖而失準

關(guān)于大都流量測控系統(tǒng)而言，很難防止系統(tǒng)的壓力動搖及環(huán)境和介質(zhì)的溫度改變。關(guān)于體積流量計，壓力和溫度的動搖將導(dǎo)致較大的誤差，關(guān)于質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器，則一般能夠忽略不計。

2.測量控制的自動化

質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器能夠?qū)⒘髁繙y量值以規(guī)范電信號形式輸出。這樣很容易完成對流量的數(shù)字顯現(xiàn)累積流量自動計量、數(shù)據(jù)自動記錄、計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還能夠完成流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0-5V或4-20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，能非常方便地與計算機銜接，進行自動控制。

3.準確地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器能夠準確地操控氣體的給定量，這對許多工藝進程的流量控制、關(guān)于不同氣體的份額控制等特別有用。

4.適用規(guī)模寬

在很寬的工作壓力規(guī)模，咱們的產(chǎn)品能夠從真空直到10MPa;能夠適用于多鐘氣體介質(zhì)(包含一些腐蝕性氣體，如HCL);有很寬的流量規(guī)模，咱們的產(chǎn)品小流量規(guī)模可達0-2SCCM,大流量規(guī)?？蛇_0-200SLM.流量顯現(xiàn)的分辨率可達滿量程的0.1%，流量控制規(guī)模是滿量程的2-100(量程比為--50:1)，因此在許多范疇得到使用。