氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制；氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM）用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

1、結(jié)構(gòu)

   MFM由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器通道機(jī)殼等部件組成，只能對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量；在MFM基礎(chǔ)上加上調(diào)節(jié)閥構(gòu)成MFC，既可以對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量，也能對(duì)流量進(jìn)行控制。

2、工作原理

   氣流進(jìn)入進(jìn)氣管道街頭后大部分流量流過(guò)分流器通道，其中很小一部分進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。由于分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)過(guò)預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過(guò)毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理測(cè)量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)輸入電路板，經(jīng)過(guò)放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測(cè)信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等，這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。

本文關(guān)鍵詞：氣體流量控制器,氣體質(zhì)量流量控制器,流量控制器