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MFC501氣體質(zhì)量流量控制器

MFC501氣體質(zhì)量流量控制器

  • 所屬分類:氣體質(zhì)量流量控制器
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2023-04-12 10:28:04
  • 產(chǎn)品概述


產(chǎn)品簡介:


型號:MFC501應用領(lǐng)域:——分析儀器 
        ——干刻(RIE/DRIE)——生物技術(shù) 
        ——氣象色譜分析——激光焊機


產(chǎn)品特征:


高精度,高穩(wěn)定性,快響應,小體積。


產(chǎn)品簡介:


型號:MFC501


應用領(lǐng)域:


——分析儀器                             ——干刻(RIE/DRIE)

——生物技術(shù)                             ——氣象色譜分析

——激光焊機                             ——過程自動化

——真空鍍膜                             ——燃料電池


產(chǎn)品特性:


◆無可移動部件

◆支持多種通訊協(xié)議

◆容易安裝及維護

◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂

◆可控多種氣體

◆可配控制器

◆產(chǎn)品低功耗


      機械尺寸:


流量控制器


技術(shù)指標:


      流量規(guī)格:0~20,30,50,100,150,200,275SLM

準 確 度:±1.5%F.S.

線 性 度:<±1%F.S.

重復精度:±0.2%F.S.

響應時間:<1S

工作壓差:0~0.8MPa

耐壓:3MPa

環(huán)境溫度:5-55℃

電氣連接:Db15

輸出信號:0~5V、4~20mA

電      源:±15V或者15~28V

流量調(diào)節(jié)范圍:2~100F.S

漏      率:<1*10-7Pa*m3/s

溫度系數(shù):<0.1%F.S/℃

外形尺寸:106*36*138

重      量:2.0Kg


電氣連接:DB15


流量控制器

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