產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

型號(hào)：MFC501應(yīng)用領(lǐng)域：——分析儀器 
        ——干刻（RIE/DRIE)——生物技術(shù) 
        ——?dú)庀笊V分析——激光焊機(jī)

產(chǎn)品特征：

高精度，高穩(wěn)定性，快響應(yīng)，小體積。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

型號(hào)：MFC501

應(yīng)用領(lǐng)域：

——分析儀器                             ——干刻（RIE/DRIE)

——生物技術(shù)                             ——?dú)庀笊V分析

——激光焊機(jī)                             ——過(guò)程自動(dòng)化

——真空鍍膜                             ——燃料電池

產(chǎn)品特性：

◆無(wú)可移動(dòng)部件

◆支持多種通訊協(xié)議

◆容易安裝及維護(hù)

◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂

◆可控多種氣體

◆可配控制器

◆產(chǎn)品低功耗

      機(jī)械尺寸：

技術(shù)指標(biāo)：

      流量規(guī)格：0~20,30,50,100,150,200,275SLM

準(zhǔn) 確 度：±1.5％F.S.

線 性 度：＜±1％F.S.

重復(fù)精度：±0.2％F.S.

響應(yīng)時(shí)間：＜1S

工作壓差：0~0.8MPa

耐壓：3MPa

環(huán)境溫度：5-55℃

電氣連接：Db15

輸出信號(hào)：0~5V、4~20mA

電      源：±15V或者15~28V

流量調(diào)節(jié)范圍：2~100F.S

漏      率：＜1*10-7Pa*m3/s

溫度系數(shù)：＜0.1%F.S/℃

外形尺寸：106*36*138

重      量：2.0Kg

電氣連接：DB15