產(chǎn)品特性: | |||
◆無可移動部件 | |||
◆支持多種通訊協(xié)議 | |||
◆容易安裝及維護 | |||
◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂 | |||
◆可測多種氣體 | |||
◆一體液晶顯示和按鍵操作 | |||
◆內置溫度和壓力傳感器 | |||
◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量 | |||
應用領域: | |||
技術參數(shù): | ——分析儀器 | ——干刻(RIE/DRIE) | |
流量規(guī)格: | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技術 | ——氣相色譜分析 |
——激光焊機 | ——過程自動化 | ||
準確度: | ±0.5%F.S. | ——真空鍍膜 | ——燃料電池 |
重復精度: | ±0.2%F.S. |
產(chǎn)品尺寸: | |
流量測量范圍: | 2%~100%F.S. | ||
使用溫度: | -20~65℃ | ||
使用濕度: | 0~98%(?凝露) | ||
Max耐壓: | 3MPa | ||
響應時間: | <1s | ||
供電電壓: | 15~40VDC | ||
功率: | <5W | ||
通訊方式: | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
氣路部件材質: | SUS304、SUS316L | ||
密封件材質: | 氟橡膠 | ||
氣路接頭: | 快擰、快插、卡套、VCR | ||
外接顯示器尺寸: | |||
電氣連接:DB9 | |||
產(chǎn)品造型: | |||
氣體質量流量控制器(MFC)與氣體質量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置,無錫愛拓利電子科技有限公司作為氣體質量流量控制器廠家,生產(chǎn)和出口流量控制器,熱式流量計,氣體流量計,質量流量計,質量氣體流量計,氧氣流量計,氣體渦輪流量計,羅茨流量計,旋進旋渦流量計等產(chǎn)品,歡迎新老客戶來電咨詢! |
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