氣體流量計(jì)具有極短的呼應(yīng)時(shí)刻和優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、化工、醫(yī)藥、食物等產(chǎn)品制作過程中氣體流量的檢測(cè)及操控,那么帶我們?nèi)チ私庀職怏w流量計(jì)是怎樣丈量流量的。
只要合理選用電極及襯里材料,氣體流量計(jì)即可達(dá)到耐腐蝕、耐磨損的要求。氣體流量計(jì)丈量結(jié)果與液體的壓力、溫度、密度、粘度、電導(dǎo)率(不小于低電導(dǎo)率)等物理參數(shù)基本無關(guān),氣體流量計(jì)不受環(huán)境影響,所以丈量精度高、作業(yè)穩(wěn)定、牢靠。氣體流量計(jì)選用現(xiàn)代模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換技能和高性能超大規(guī)模集成芯片,對(duì)信號(hào)進(jìn)行阻隔、濾波、放大及數(shù)字處理。氣體流量計(jì)準(zhǔn)確顯現(xiàn)丈量結(jié)果。
不同于傳統(tǒng)的熱傳感器方法選用了多個(gè)熱傳感器和多個(gè)熱源來丈量氣體的質(zhì)量流量(風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理),氣體流量計(jì)選用了多個(gè)熱傳感器和一個(gè)微熱源(量熱式熱質(zhì)量流量原理),大大減少了環(huán)境對(duì)丈量的影響。氣體流量計(jì)的熱源非常微小,幾乎不需要時(shí)刻進(jìn)行加熱。
氣體流量在長(zhǎng)期不運(yùn)用時(shí),應(yīng)將儀表內(nèi)的蒸餾水放干凈,排放時(shí)先運(yùn)用放水閥,然后將表頭向下,再將出氣管向下,這樣重復(fù)幾回,才能將鼓輪內(nèi)的水放凈。
氣體流量計(jì)選用熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片,屬于質(zhì)量流量傳感方法的小流量計(jì),它是經(jīng)過氣體流動(dòng)產(chǎn)生的熱場(chǎng)改變來丈量氣體流量,因?yàn)椴煌|(zhì)量的氣體對(duì)熱場(chǎng)的改變具有不同的影響,所以氣體流量計(jì)所測(cè)的數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。
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